Реактивдүү магнетронду чачыратуу - бул субстраттардын кенен гаммасына жука кошулма катмардыүстүнкү катмар катары же көп катмарлуу каптамада ортоңку катмар катары коюунун жетилген ыкмасы. "Жука" көлөмү бир нече нанометрден бир нече микрометрге чейин.
Эмне үчүн магнетрон чачыратат?
Магнитронду чачыратуу - бул уккан бөлүкчөлөр менен буталар ортосундагы кагылышуу процесси … Магнетронду чачыратуу – катоддун бетине магнит талаасын киргизүү жана чектөөлөрдү колдонуу менен плазманын тыгыздыгын жогорулатат чачыратуу ылдамдыгын жогорулатуу үчүн заряддалган бөлүкчөлөрдөгү магнит талаасы.
Реактивдүү чачыратуу деген эмнени билдирет?
Реактивдүү чачыратуу - бул плазмага реактивдүү газды (адатта кычкылтек же азот) киргизүү аркылуу кошулмаларды жайгаштырууга мүмкүндүк берүүчү процесс аргон (эң таралган), ксенон же криптон.
Магнетрон чачкыч кантип иштейт?
Магнитронду чачыратуу - бул газ түрүндөгү плазманы камтыган тундуруу технологиясы, ал түзүлөт жана жайгаштырыла турган материалды камтыган мейкиндикте - "максат" менен чектелет. … Бул кагылышуулар электростатикалык түртүүнү пайда кылат, ал электрондорду чачыратып жиберүүчү газдын атомдорунан «кагып», иондошууга алып келет.
РФ эмне үчүн чачырайт?
RF же Радио жыштык менен чачыратуу токтун электрдик потенциалын радиожыштыктарда вакуум чөйрөсүндөгү чачыратуу максаттуу материалдардын айрым түрлөрүнө заряд түзүүнү болтурбоо үчүн алмаштырылган техника, ал убакыттын өтүшү менен тамчыларды чачыраткан плазмага жааны алып келиши мүмкүн …
